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高纯气体氖的分析标准及分析仪器

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/11/02 1:12:15 * 浏览: 6
随着现代微电子工业的不断发展,市场对高纯度气体氖的纯度要求越来越高,达到了99.99%。目前,国内氖气标准仅为GB / T“ 17873-1999”“纯氖气”,最高氖气纯度为99.995%。但是,世界上没有高纯度霓虹灯的统一标准,但是一些大型的外国公司,例如美国的API和德国的Messer,都有自己的技术指标。在工业上,液体氖冷凝法用于分离高纯度氖气,但是由于氖气和氦气的沸点非常接近,它们分别为-245.9和-268.9°C。氖气的沸点低于氮气的沸点,因此产生的氖气将含有微量的氦。由于两者的物理和化学性质相似,因此在工业生产中已检测到高纯气体氖气中痕量氦的分析。困难。针对这些问题,需要探索一种新的检测方法来确定氖气中的痕量氦[2-7]。在本研究中,使用氖气作为气体,并使用一系列标准气体作为样品绘制回归曲线,直线的截距值为载气中的氦气量。高纯气体氖实验仪器和样品参考物质实验选择了GC-122气相色谱仪,上海仪器分析总厂,热导检测器(TCD),色谱工作站,N2000,浙江大学智能信息工程学院。色谱柱使用直径为3mm,长度为3m的5A分子筛和六通进样阀。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C气相色谱仪,N3000色谱工作站。气体分离的原理是:由于性质不同,气态物质分子在色谱柱分子筛上的吸附-脱附能力也不同。随着在色谱柱上的连续操作,柱中气态分子的移动距离逐渐变化。最终彼此分离,通过TCD检测器检测不同气体的保留时间和峰面积。