辽宁天然气高纯氮化学气相沉积用载气

辽宁天然气高纯氮气概要概述，性能，功能及用途：纯度大于99.999％。无色，无味，无味，无毒惰性气体。相对密度ds（21.1℃，空气= 1）为0.967。气体密度为1.153kg / m3（21.1℃，101.3kPa），液体密度为808.5kg / m3（-195.8℃，101.3kPa）。沸点为-195.8℃。熔点为-209.9℃。氮纯化方法主要包括吸附，变压吸附和膜分离。在集成电路，半导体和电子真空设备的制造中用作保护气体和载气，化学气相沉积过程中的载气，液体扩散源的载气以及高温扩散炉中设备的保护气。高纯度氮气在外延，光刻，清洁和蒸发等过程中用作置换，干燥，存储和运输的气体。在显像管的制造中，要求氮气的纯度为99.99％以上。在航空航天技术中，液态氢填充系统必须先用高纯度氮气代替，然后再用高纯度氦气代替。目前，纯氮主要用于油田注氮，石油化工，合成纤维，合成氨，浮法玻璃，轧钢和电子工业等领域。油田注氮设备拥有最大的制氮规模。国外最大的是310,000 Nm3 / h。氮气产品的纯度要求氧气含量低于10ppm，产​​品压力通常为300-400bar。允许暂时中断生产过程，并需要少量的液氮。石油化工，合成纤维，合成氨，浮法玻璃，轧钢等制氮设备的储备规模通常在数千至数万之间。产品纯度要求包含2∽100ppm的氧气，产品压力通常为1.35∽31bar。一些设备需要备用的液氮，并且需要不间断的产品供应。电子行业制氮设备的规模很小，一般在几百到几千之间，但是产品的纯度最高，通常氧含量小于1ppm，产​​品中的CO和H2含量都比较高。产品的压力为3∽10bar，这需要不间断的产品供应和备用的液氮。经过数十年的蓬勃发展，制氮业在规模和产品要求方面已达到更高的水平。对于不同规格的产品，目前已经开发了适合于它们的国内外氮气生产工艺。当产品氮气在5至8 bar之间时，有两种选择：第一种选择：回流膨胀工艺，加压产品氮气或膨胀机增压端的正向空气。第二种解决方案：正向流动膨胀过程，产物氮气或正向流动空气在膨胀机的增压器端被加压，产物被氮气压缩机压缩。当压力较高时，此过程具有很大的优势。辽宁燃气